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              5. ASML筹划2019年出货30台EUV光刻机

                作者:佚名 来源:网络 时光:2019-01-29 22:23 浏览:444 [投稿]
                2017年出货11台,2018年出货18台,ASML筹划在2019年出货30台EUV光刻机。

                2017年出货11台,2018年出货18台,ASML(阿斯麦)上周表示,筹划在2019年出货30台EUV光刻机。今朝,ASML占领全球光刻机市场70%的份额,远远领先尼康。更重要的是,仅荷兰ASML有才能制造和出货EUV光刻机,尼康的最高技巧程度还逗留在ArF氟化氩沉醉式光刻机。

                与此同时,ASML将在2019年推生产能更高的新型号Twinscan NXE: 3400C,代替现款售价1.2亿美元(约合8亿)的Twinscan NXE: 3400B。3400C的每小时晶圆雕刻才能从155片晋升至170片,换装Cymer公司的340W光源。

                材料显示,截至客岁7月,全球各公司、研究机构等总共仅安装了31台EUV光刻机。不过,遗憾的是,迄今,大年夜范围利用EUV(极紫外光刻)技巧的先辈工艺仍未量产,三星7nm LPP理论上进度最快,但当下仅限于在S3工厂小范围投产,岁尾位于韩国华城、投资6万亿韩元(约合362亿元)的工厂落成后,将是三星7nm EUV主力厂。

                别的,台积电的第二代7nm也将在非关键步调上采取EUV技巧,Intel、SK海力士也都对EUV光刻机有强烈需求。

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